多晶硅生產中含氟廢酸液處理工藝
來源：本站日期：2023-01-09 03:05:38 瀏覽：1019
在多晶硅生產過程中會排放少量的含氟廢酸液，對此類含氟廢酸液該如何處理呢？康景輝小編今天給大家介紹一下多晶硅生產中含氟廢酸液處理工藝。
一、多晶硅含氟廢酸液來源
在多晶硅生產的硅料清洗工序，先用堿液除去硅料表面的石英、金屬離子等，再使用39%氫氟酸和68%硝酸的混合液進行酸洗，后用去離子水沖洗浸泡至中性。酸洗階段產生少量廢酸液，使用完的廢酸，濃度的降低基本可以忽略不計，氟離子含量約5%。
二、多晶硅含氟廢水常規(guī)預處理工藝
由于多晶硅含氟廢水處理該廢液酸性很強，為避免對后端處理設備造成腐蝕，一般會調解PH值，然后向廢水中投加石灰乳或者電石渣，對廢水進行中和，同時鈣離子與氟離子生成難溶物氟化鈣沉淀。
三、多晶硅含氟廢水零排放處理工藝
預處理出水的主要鹽組分為硝酸鈣，硝酸鈣質量濃度10%以上，氟離子含量約10mg/L，pH高于7。將預處理后的廢水蒸發(fā)濃縮至質量濃度70%左右，再冷卻至40℃以下，結晶生成四水硝酸鈣。
四水物加熱到151℃完全脫水，加熱到495~500℃時，硝酸鈣分解放出氧并生成亞硝酸鈣，繼續(xù)加熱則分解成氧化鈣及氧化氮氣體。
硝酸鈣為強氧化劑，屬于危險化學品。因此該工藝產出的四水硝酸鈣應避免受熱，并嚴禁與有機物、還原劑、磷和硫磺等接觸。
硝酸鈣水溶液在不同壓力下的沸點不同，70%硝酸鈣溶液在常壓下的沸點為133℃，而在絕壓40kPa和25kPa下，其沸點分別下降到105℃和93℃。
硝酸鈣溶液的蒸發(fā)器宜選用強制循環(huán)蒸發(fā)器，因為強制循環(huán)蒸發(fā)器對高黏度、易生泡沫、易結垢、甚至有結晶析出的溶液均適用，且完成液的組成較容易恒定。蒸發(fā)器內恒定的完成液組成對后續(xù)冷卻結晶系統(tǒng)的正常穩(wěn)定運行起到至關重要的作用。
根據(jù)硝酸鈣的水鹽體系，硝酸鈣溶液可以選擇采用冷卻結晶系統(tǒng)，冷卻結晶產出的硝酸鈣產品可以作為肥料利用。
四、多晶硅廢水處理尾氣處理工藝
對廢酸液處理過程中產生的廢氣處置工藝及設備選型，酸性廢氣可用堿性溶液進行吸收處理，常用的吸收液。
經堿液吸收后的尾氣通過排氣筒高空排放，尾氣中氮氧化物和氟化物排放濃度及排放速率滿足排放標準。室外高空排放時應設避雷設施，采用金屬排放裝置還應有可靠的接地措施。
根據(jù)含氟廢酸液中和后的溶液組成及性質，選取合適的蒸發(fā)結晶工藝和操作條件，以實現(xiàn)廢液的零排放。
